“在设计之初,我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道:“当然,现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮,不过让这台原型机进厂跑起来,然后提供维护的方案,我们肯定是有的。”
苏远山又转头看着林本坚等人,只见这老几位虽然带着口罩,但也都眼角含笑,心中便知道庞克明所言非虚,当下便哈哈一笑,喜上眉梢。
“不错,不错!走,我看一眼测试。”
“好的,而且为了测试,我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序,它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”
庞克明示意下属开始演示。
“山总,传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版,即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形,在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据,然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位,简单方便,啪的一闪,就能直接得出光刻机的参数了。”
“嗯,不错!”苏远山再次点头。
……
……
两小时后,苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。
作为宏芯的代表,庞克明这次就不能再捡懒了,他也和林本坚,赵凯东,梁孟松等一起进入了会议室。
“客套话我就不说了,意义我也不重复了,论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来,他也呵呵一笑:“咱们要低调点,不能抢了上面的风头。”
“意思是,我们还要等上面验收?”庞克明看着苏远山,试探性地问道。
苏远山微微一笑,点了点头:“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段,而且我们也没有拿国家的钱,不需要上头来检查什么的,更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”
在座几人纷纷点头。
纵然大家都是一心搞技术的工程师,但活了这么大岁数,这种又不违背原则,又能让国家开心的事,怎么都是支持的。