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“林叔,赵叔。”

苏远山见两人同时站在门口,连忙上前握手,梁梦松也上前打了招呼。

见到跟在苏远山身后的梁梦松,林本坚倒没什么,赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在,按照规矩,负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……

按照职位算,梁梦松只能排到德远的第五。

这架势,看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。

在接待室落座后,苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域,因为林本坚的加入,赵凯东团队进展得很快,他们即将完成193n的准分子激光光源技术。

虽然比起国外同行落后了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看,193n将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立euv联盟,找寻新的出路了。

当然,对于如何跨越193n,除了euv之外,也有其他的方案。譬如尼康和svg就在准备攻克157n的hef2激光,以及电子束投射(el),离子投射(il)、甚至x光等等……

总之,就是解决的办法一箩筐,放眼望去全是路。

但具体哪一条是真正的正道,谁也不知道。

嗯,只有苏远山一个人知道。

因为这些方案,都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。

“林叔,赵叔,193n之后你们的想法是什么?”坐到沙发上,苏远山端起茶杯抿了一口。

赵凯东和林本坚对视了一眼,随后笑着道:“193n看样子都要停留很久,你这么着急?”

“我本来是不着急的。”苏远山很坦白:“主要是老美那边搞euv,搞得我有点心慌。”

赵凯东便笑着摇了摇头:“虽然说光源要比光刻机领先很多,但193n的光源现在都尚未用在光刻机上,你心慌也没用。”